頂立科技立式化學(xué)氣相沉積爐（碳化硅） 

概述：立式化學(xué)氣相沉積爐可用于以硅烷為氣源的材料表面抗氧化涂層、基體改性等。
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2022-11-07 16:43:15 點(diǎn)擊63860次
服務(wù)區(qū)域：
全國(guó)
聯(lián)系電話：
18874256050
信用：4.0  隱性收費(fèi)：4.0
描述：4.0  產(chǎn)品質(zhì)量：4.0
物流：4.0  服務(wù)態(tài)度：4.0
默認(rèn)4分 我要打分
技術(shù)特征

采用先進(jìn)的控制技術(shù)，能精密控制MTS的流量和壓力，爐膛內(nèi)沉積氣流穩(wěn)定，壓力波動(dòng)范圍��；

采用特殊結(jié)構(gòu)沉積室，密封效果好，抗污染能力強(qiáng)； 

對(duì)沉積產(chǎn)生的高腐蝕性尾氣、易燃易爆氣體、固體粉塵及低熔點(diǎn)粘性產(chǎn)物能進(jìn)行有效處理；

采用最新設(shè)計(jì)防腐蝕真空機(jī)組，持續(xù)工作時(shí)間長(zhǎng)，維修率極低。




立式化學(xué)氣相沉積爐（碳化硅）配置選擇

爐門(mén)：絲杠升降/液壓升降/手動(dòng)升降；手動(dòng)鎖緊/自動(dòng)鎖圈鎖緊  

爐殼：全碳鋼/內(nèi)層不銹鋼/全不銹鋼

爐膽：軟碳?xì)?軟石墨氈/硬質(zhì)復(fù)合氈/CFC   

加熱器、馬弗：等靜壓石墨/模壓三高石墨/細(xì)顆粒石墨

工藝氣路系統(tǒng)：體積/質(zhì)量流量計(jì)；手動(dòng)閥/自動(dòng)閥；進(jìn)口/國(guó)產(chǎn) 

熱電偶：C分度號(hào)/S分度號(hào)/K分度號(hào)/B分度號(hào)  

記錄儀：無(wú)紙記錄儀/有紙記錄儀；進(jìn)口/國(guó)產(chǎn)


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